Baik keramik alumina maupun keramik silikon karbida memiliki sifat fisik kekompakan, kekerasan tinggi, dan ketahanan aus yang tinggi, serta ketahanan panas yang baik, kekuatan mekanik yang sangat baik, insulasi yang baik dan ketahanan korosi yang baik pada lingkungan suhu tinggi, dll. adalah bahan yang sangat baik untuk membuat lengan robot peralatan semikonduktor.Dari segi sifat material, keramik silikon karbida lebih cocok untuk pembuatan manipulator keramik, namun dari segi ekonomi seperti harga bahan dan kesulitan pengolahan, manipulator keramik alumina lebih hemat biaya.
Waktu posting: 13 Februari-2024